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為確保傳感器精度和性能的長期穩(wěn)定性，消除彈性元件在機械加工和熱處理中產(chǎn)生的殘余內應力是十分重要的。消除彈性元件殘余內應力的方法很多，通常有一下幾種： 
（1）時效。最有效的辦法是長期自然時效（加工后放置半年、一年或更長的時間）；也可采用加溫（100~200°C）存放（數(shù)十至數(shù)百小時）的人工時效方法，以加速穩(wěn)定的過程。
（2）退火。由于退火溫度較高（比回火溫度要稍低），保溫時間較長，效果比較明顯。
（3）反復加載和機械振動。采用反復加載和機械振動的辦法，有利于內應力的加速釋放。特別是在應變式光電開關元件敏感器中，在貼片后進行疲勞加載，有利于改善光電開關元件敏感器的性能。在需要考慮應變計的壽命時，可以在貼片前適當增加疲勞次數(shù)，而貼片后適當減少疲勞加載次數(shù)。
（4）冷處理。該方法是建立在使光電元件淬火后材料中的剩余奧氏體轉變?yōu)轳R氏體基礎上的一種阻值穩(wěn)定的處理。一般是在淬火、第一次回火后，冷卻到60度時放入低溫環(huán)境中進行保溫處理。
一般光電開關元件敏感材料的淬火溫度約為850°C（油冷），回火溫度在400~500°C，硬度為HRC34~48。
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