隨著半導(dǎo)體集成電路技術(shù)的發(fā)展，接近開關(guān)傳感器可以與越來越多的接口電路和信號處理電路制作在同一芯片上或封閉于同一管，因此稱為集成接近開關(guān)傳感器。一般集成傳感器是指采用標準的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的傳感器。
接近開關(guān)傳感器的集成化有兩個方面含義：一是將敏感元件與其轉(zhuǎn)換或調(diào)理電路，如放大、運算、溫度補償?shù)入娐芳稍谕恍酒?二是將多個相同或不同的敏感元件集成在同一芯片上形成敏感元陳列，例如，圖像接近開關(guān)傳感器將上萬個相同的光敏二極管集成在同一平面上。集成化對于接近開關(guān)傳感器的突出作用主要體現(xiàn)在減少尺寸、降低功耗、增強功能、提高性能和減少成本上。
典型的集成接近開關(guān)傳感器功能框圖。該接近開關(guān)傳感器可分為四嗍分。第一部分為敏感元件。敏感元件本身所產(chǎn)生的信號經(jīng)常受噪 聲及其他因素的干擾，因此需要第二部分，即包括放大、線性化、補償、濾波等在內(nèi)的信號調(diào)理電路來降低傳感器的非理想特性。有時在同一芯片中采用了多個敏感元件，還需用到多路選擇開關(guān)。要求接近開關(guān)傳感器得到的信號必須是串行或并行數(shù)字格式時，需通過A/D轉(zhuǎn)換器或頻率-編碼轉(zhuǎn)換器實現(xiàn)。 |
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